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生命科學(xué)儀器及設(shè)備

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厭氧高溫氣氛爐

更新時間： 2020-07-24
產(chǎn)品型號： C1-007/C1-008
簡單描述
C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐C1-007用于電子無器件高溫處理工藝，C1-008用于光刻工藝后段，光刻膠固化。

詳細(xì)介紹

日本雅瑪拓C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐
C1-007（溫度600℃、氧濃度20ppm）
● 用途：電子無器件高溫處理工藝
● 高工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下
● 程序運轉(zhuǎn)功能，有自動/手動兩種操作模式
● 快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
● 配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等
● 在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置

C1-008（溫度500℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm）
● 用途：光刻工藝后段，光刻膠固化
● 高工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm以下
● 程序運轉(zhuǎn)功能，有自動/手動兩種操作模式
● 快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
● 配置了自動門鎖、數(shù)字式壓力表、數(shù)字式流量計等全不銹鋼材質(zhì)
● 在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護(hù)斷路器等安全裝置

日本雅瑪拓C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐技術(shù)規(guī)格

型號	C1-007
溫度范圍	室溫+30～360℃ 室溫+50～600℃
溫度分布精度	±4.0℃（at 360℃） ±8.0℃（at 600℃）
溫度上升時間	60min（室溫→360℃） 90min（室溫→600℃）
溫度下降時間	90min（360℃→50℃） 120min（600℃→50℃）
氧濃度	20ppm以下
氧濃度下降時間	約45分鐘
運轉(zhuǎn)功能	定值運轉(zhuǎn)、程序運轉(zhuǎn)
裝備	氮氣導(dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計等
內(nèi)尺寸	W600×D600×H600mm
電源	3相 AC380V

型號	C1-008
溫度范圍	室溫+30～360℃ 室溫+50～500℃
溫度分布精度	±4.0℃（at 360℃） ±8.0℃（a500℃）
溫度上升時間	60min（室溫→360℃） 90min（室溫→500℃）
溫度下降時間	90min（360℃→50℃） 120min（500℃→50℃）
氧濃度	20ppm以下
氧濃度下降時間	約45分鐘
潔凈度	100級
裝備	氮氣導(dǎo)入裝置、水冷裝置、差壓計等
內(nèi)尺寸	W600×D600×H600mm
電源	3相 AC380V

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